新产品主要面向汽车等技术

NHK放送技术研究所在“NHK技研展2011”上展出了采用MEMS技术制作的硅麦克风“电荷存储型硅麦克风”。新产品与需要施加48V高电压的原产品不同，以低电压即可驱动。尺寸约为6mm见方，利用 V电压驱动。

以前，尺寸为数mm见方的超小型麦克风以ECM（electret condenser microphone）款式为主流。组合使用小型电容器和名为驻极体、可保存电荷的介电材料，由此检测振动造成的静电容量变化。但驻极体基本都使用氟类树脂，对回流焊接等高温工艺的耐受力比较弱。

最近，为解决这个问题，以MEMS技术制作的、名为“硅麦克风”的超小型麦克风开始得到采用。硅麦克风不使用驻极体，而是从外部施加高电压工作。

NHK技研此次开发的技术在利用MEMS技术制作的硅麦克风上使用驻极体，无需从外部向电容器部分施加电压。驻极体采用了组合使用SiO2与SiN的无机介电体。驱动音频信号检测电路时仅需 V电压，可作为麦克风使用。音响特性“与现有的硅麦克风基本相同”（解说员）。

NHK技研还公开了在上述无机驻极体上存储电荷的方法。具体是指，通过照射软X射线，在介电体上存储电荷。“很多在硅基板上制作的硅麦克风都可统一存储电荷”（NHK技研）。

关于驻极体使用无机材料的硅麦克风，松下电器产业（现为松下）曾在2006年开发过。驻极体使用了SiO2膜无机材料。不过没有公布电荷的存储方法。

NHK技研的此项开发是与从事助听器和精密振动测定器业务的厂商——理音，以及小林理学研究所共同开发的。不过“共同研究协议已于2011年 月到期。今后是否投产将根据理音和小林理学研究所的意愿决定”（解说员）。（记者：野泽 哲生）

最好的钙片是什么牌子

芜湖男科医院哪家好

经期延长量很多怎么办