三维共聚焦显微镜快速无损表征石墨烯材料

　　近年来，在全球刮起了一股石墨烯旋风，越来越多的企业和科研单位开始致力于石墨烯材料的制备和测试，检测石墨烯的形貌结构显得尤为重要我们发现,三维共聚焦显微镜既用来观察样品表面亚μm程度的三维形态和形貌，又可以测量多种微小的尺寸，诸如体积、面积、晶粒、膜厚、深度、长宽、线粗糙度、面粗糙度等等。而且测试方便快捷，不损坏样品，实际利用中比扫描电镜、原子力显微镜更加适用。国家级泰州石墨烯研究检测火炬平台的多名专家指出，三维共聚焦显微镜可以轻松检测通过PMMA转移的石墨烯（检测PMMA残留）、通过PET转移的石墨烯、铜基石墨烯的三维形貌等等，在石墨烯领域内已经开始了广泛有效的应用。

　　巨纳集团的三维共聚焦显微镜（NanoFocus μsurf）机台功能齐全，结构紧凑，性价比高，并拥有超高光学分辨率和最全面广泛的三维表面形貌分析能力，成为了国内众多石墨烯用户的首选。该设备采用多孔共聚焦专利技术，结合CCD的影像摄取，以有许多孔洞的旋转盘取代侦测器的孔洞，再将物镜垂直移动，以类似断层摄影方式，可在短时间(约几秒)内精确量测物体的三维数据。其测量方式是非接触式的无损表征，不会破坏样品的表面，不需要在真空环境下测量及样品前期制备，仅需5~10秒即可完成测量；也可以用显微镜测量的功能来观测样本，其在严酷的工作环境下，也能正常使用。由于使用了共聚焦的方法，在测量渐变较大的高度时，跟其他方法相比，可以更精确量测物体高度，建立 D立体影像，优势相当明显。